鎢、鉭、鈮、錸和鉬……難熔金屬在原子能、航空航天、電子信息和醫(yī)學(xué)診療等涉及國(guó)家安全和國(guó)計(jì)民生的高科技領(lǐng)域具有極為重要的用途。但是，近10年來(lái)，世界鎢工業(yè)所消耗的大部分鎢資源來(lái)自中國(guó)，造成我國(guó)這類(lèi)優(yōu)質(zhì)戰(zhàn)略資源的儲(chǔ)藏量大幅下降。

26日，記者從北京理工大學(xué)獲悉，十年磨一劍，由北京理工大學(xué)、中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第七一八研究所、中國(guó)原子能科學(xué)研究院和昆明理工大學(xué)組成的項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)，在基于二次資源利用的高端難熔金屬產(chǎn)品研發(fā)及應(yīng)用取得重大突破。

“通過(guò)應(yīng)用基礎(chǔ)研究與產(chǎn)業(yè)化，項(xiàng)目組打通了從回收廢料，到電子級(jí)WF6氣體、超高純度鎢零部件等產(chǎn)品的全鏈條產(chǎn)業(yè)化技術(shù)，突破了WF6高效氟化制取及純化，高純度鎢靶材、鎢加熱體、異型鎢坩堝的常壓化學(xué)氣相沉積制造，基于尾氣利用的高純度超細(xì)鎢粉等離子化學(xué)法制備，副產(chǎn)物HF的F2/NF3和H2電解制取及其在WF6的制取和還原中的應(yīng)用等關(guān)鍵技術(shù)。”該項(xiàng)目組負(fù)責(zé)人北京理工大學(xué)教授譚成文說(shuō)。

歷經(jīng)約10年努力，項(xiàng)目組研發(fā)出高純WF6、超高純鎢靶材、離子注入機(jī)用高純鎢部件、高性能鎢加熱體、高純異型鎢坩堝等系列高端產(chǎn)品。

譚成文說(shuō)，其中，高純WF6純度達(dá)99.999%，滿足了半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)于特種氣體的高純度要求，在英特爾、東芝、臺(tái)積電、中芯國(guó)際等國(guó)內(nèi)外知名半導(dǎo)體企業(yè)獲得廣泛應(yīng)用，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率80%，國(guó)際市場(chǎng)占有率近25%，僅3年時(shí)間即實(shí)現(xiàn)單一產(chǎn)品年產(chǎn)值過(guò)億元，利潤(rùn)率大于20%。隨著技術(shù)不斷改進(jìn)，產(chǎn)品在相關(guān)企業(yè)的用量大幅提高，打破國(guó)外壟斷。超高純鎢靶材、離子注入機(jī)用高純鎢部件、鎢加熱體、異型鎢坩堝純度達(dá)99.999999%。(記者馬愛(ài)平)

(責(zé)編：王紹紹、賀迎春)

關(guān)鍵詞：